D'après tes images, ces "points" n'ont pas l'air d'être des rayures. Je ne vois pas comment tu peux rayer la surface du capteur (ou du filtre qui est devant), juste avec un sensor brush que tu as utilisé sans problème sur ton 20D...

Cela ressemble quand même bien à des poussières collées que tu as dû répandre avec ton pinceau. Elles étaient peut être sur les parois de la chambre reflex.
Sinon, ton pinceau était-il bien propre. Il faut le laver de temps à autre avec un savon très doux, bien le rince et le faire bien sécher.

Mon avis est qu'il faut tenter un nettoyage humide avec un sensor swab + liquide Eclipse 2.

EDIT : pff...grillé